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Plasma etching of thermoset polymer films for microchannels
Plasma etching of thermoset polymer films for microchannels
Plasma etching of thermoset polymer films for microchannels
Holland, A. (Autor:in) / Cher, C. (Autor:in) / Rosengarten, G. (Autor:in) / Simon, D. (Autor:in)
SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 15 ; S104-S111
01.01.2006
S104-S111
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
530
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