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High deposition rate magnetrons: key elements and advantages

Mitin, V. S. / Sharipov, E. I. / Mitin, A. V.

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Titel:

High deposition rate magnetrons: key elements and advantages

Beteiligte:

Mitin, V. S. (Autor:in) / Sharipov, E. I. (Autor:in) / Mitin, A. V. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 22 ; 5-10

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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