Stability of microcrystalline silicon materials under light soaking: Fid-Bau Portal

Stability of microcrystalline silicon materials under light soaking

Han, X. / Wang, Y. / Xue, J. / Zhao, S. / Li, Y. / Geng, X.

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Titel:

Stability of microcrystalline silicon materials under light soaking

Beteiligte:

Han, X. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Xue, J. (Autor:in) / Zhao, S. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in) / Geng, X. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 300-303

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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