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    Titel:

    Quick mapping of carrier concentration in InP substrate with large diameter by near-infrared transmittance measurement

    Beteiligte:

    Kawase, T. (Autor:in) / Shiomi, R. (Autor:in) / Yamada, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 362-365

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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