Nanomechanical Properties of Single-Crystalline Silicon Wafer Irradiated by High-Energy Femtosecond Laser Pulses: Fid-Bau Portal

Nanomechanical Properties of Single-Crystalline Silicon Wafer Irradiated by High-Energy Femtosecond Laser Pulses

Wang, Y. S. / Liang, Y. C. / Dong, S. / An, W. W. / Wang, B.

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Titel:

Nanomechanical Properties of Single-Crystalline Silicon Wafer Irradiated by High-Energy Femtosecond Laser Pulses

Beteiligte:

Wang, Y. S. (Autor:in) / Liang, Y. C. (Autor:in) / Dong, S. (Autor:in) / An, W. W. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Yuan, Z. / Xu, X. / Zuo, D. / Yuan, J. / Yao, Y.

Erschienen in:

Advances in Machining & Manufacturing Technology VIII ; 159-163

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 315/316

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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