Study on Nanometric Machining Process of Monocrystalline Si: Fid-Bau Portal

Study on Nanometric Machining Process of Monocrystalline Si

Tang, Y. L. / Liang, Y. C. / Wang, D. X. / Zhao, J. W.

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Titel:

Study on Nanometric Machining Process of Monocrystalline Si

Beteiligte:

Tang, Y. L. (Autor:in) / Liang, Y. C. (Autor:in) / Wang, D. X. (Autor:in) / Zhao, J. W. (Autor:in) / Yuan, Z. / Xu, X. / Zuo, D. / Yuan, J. / Yao, Y.

Erschienen in:

Advances in Machining & Manufacturing Technology VIII ; 792-795

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 315/316

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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