Interfacial-shear strength of the perfluorocyclobutane films on silicon: Fid-Bau Portal

Interfacial-shear strength of the perfluorocyclobutane films on silicon

Boddapati, S. R. / Ma, H. / Bordia, R. K. / Jen, A. K.-Y.

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Titel:

Interfacial-shear strength of the perfluorocyclobutane films on silicon

Beteiligte:

Boddapati, S. R. (Autor:in) / Ma, H. (Autor:in) / Bordia, R. K. (Autor:in) / Jen, A. K.-Y. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 21 ; 1759-1769

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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