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Direct writing of microtunnels using proton beam micromachining

Marot, L. / Munnik, F. / Mikhailov, S.

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Titel:

Direct writing of microtunnels using proton beam micromachining

Beteiligte:

Marot, L. (Autor:in) / Munnik, F. (Autor:in) / Mikhailov, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7343-7346

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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