A comparison of pulsed-laser-deposited and ion-beam-enhanced-deposited AlN thin films for SOI application: Fid-Bau Portal

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Titel:

A comparison of pulsed-laser-deposited and ion-beam-enhanced-deposited AlN thin films for SOI application

Beteiligte:

Men, C. (Autor:in) / Lin, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 133 ; 124-128

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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