Synthesis of Oxide Thin Films on Silicon Substrate Using Supercritical Carbon Dioxide Fluid: Fid-Bau Portal

Synthesis of Oxide Thin Films on Silicon Substrate Using Supercritical Carbon Dioxide Fluid

Kano, F. / Uchida, H. / Sugimoto, K. / Koda, S.

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Titel:

Synthesis of Oxide Thin Films on Silicon Substrate Using Supercritical Carbon Dioxide Fluid

Beteiligte:

Kano, F. (Autor:in) / Uchida, H. (Autor:in) / Sugimoto, K. (Autor:in) / Koda, S. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 320 ; 91-94

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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