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The Importance of Residual Stresses in Microelectronic Products and Materials

Muller, W. H.

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Titel:

The Importance of Residual Stresses in Microelectronic Products and Materials

Beteiligte:

Muller, W. H. (Autor:in) / Reimers, W. / Quander, S.

Erschienen in:

Residual Stresses VII: ECRS 7 - Proceedings of the 7^t^h European Conference on Residual Stresses Berlin, Germany, 13-15 September 2006 ; 1-12

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 524/525

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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