X-ray metrology for advanced silicon processes: Fid-Bau Portal

X-ray metrology for advanced silicon processes

Wyon, C. / Gonchond, J. P. / Delille, D. / Michallet, A. / Royer, J. C. / Kwakman, L. / Marthon, S.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

X-ray metrology for advanced silicon processes

Wyon, C. / Gonchond, J. P. / Delille, D. / Michallet, A. / Royer, J. C. / Kwakman, L. / Marthon, S.

X-ray metrology for advanced silicon processes

Wyon, C. / Gonchond, J. P. / Delille, D. / Michallet, A. / Royer, J. C. / Kwakman, L. / Marthon, S.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

X-ray metrology for advanced silicon processes

Beteiligte:

Wyon, C. (Autor:in) / Gonchond, J. P. (Autor:in) / Delille, D. (Autor:in) / Michallet, A. (Autor:in) / Royer, J. C. (Autor:in) / Kwakman, L. (Autor:in) / Marthon, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 21-27

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Speliotis, D. / Willingham, M. | British Library Online Contents | 2000

Creep Processes in the Advanced Silicon Nitride Ceramics

Lofaj, F. / Okada, A. / Ikeda, Y. et al. | British Library Online Contents | 2000

Trends in Precision Manufacturing Based on Intelligent Design and Advanced Metrology

Durakbasa, M.N. / Bas, G. / Bauer, J.M. et al. | British Library Online Contents | 2014

Fringe 2013 : 7th International Workshop on Advanced Optical Imaging and Metrology

Osten, Wolfgang | UB Braunschweig | 2014

Metrology merger

British Library Online Contents | 2002

Nach oben