Study of TiN and ZrN thin films grown by cathodic arc technique: Fid-Bau Portal

Study of TiN and ZrN thin films grown by cathodic arc technique

Arias, D. F. / Arango, Y. C. / Devia, A.

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Titel:

Study of TiN and ZrN thin films grown by cathodic arc technique

Beteiligte:

Arias, D. F. (Autor:in) / Arango, Y. C. (Autor:in) / Devia, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1683-1690

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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