Growth of size-tunable periodic Ni silicide nanodot arrays on silicon substrates: Fid-Bau Portal

Growth of size-tunable periodic Ni silicide nanodot arrays on silicon substrates

Cheng, S. L. / Lu, S. W. / Wong, S. L. / Chen, H.

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Titel:

Growth of size-tunable periodic Ni silicide nanodot arrays on silicon substrates

Beteiligte:

Cheng, S. L. (Autor:in) / Lu, S. W. (Autor:in) / Wong, S. L. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 2071-2077

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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