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Formation of Ge nanocrystals by utilizing nanocluster source

Lee, P. F. / Dai, J. Y. / Chan, H. L.

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Titel:

Formation of Ge nanocrystals by utilizing nanocluster source

Beteiligte:

Lee, P. F. (Autor:in) / Dai, J. Y. (Autor:in) / Chan, H. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 817-822

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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