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    Titel:

    Amorphous Diamond Dresser for CMP Fixed Abrasives Pad

    Beteiligte:

    Tso, P. L. (Autor:in) / Pai, Y. L. (Autor:in) / Guo, D. / Kuriyagawa, T. / Wang, J. / Tamaki, J.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology IX ; 157-162

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 329

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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