Modeling of Mechanical Behavior of Microcantilever due to Intrinsic Strain during Deposition: Fid-Bau Portal

Modeling of Mechanical Behavior of Microcantilever due to Intrinsic Strain during Deposition

Kim, S.-H. / Mani, S. / Boyd, J. G.

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Titel:

Modeling of Mechanical Behavior of Microcantilever due to Intrinsic Strain during Deposition

Beteiligte:

Kim, S.-H. (Autor:in) / Mani, S. (Autor:in) / Boyd, J. G. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 20 ; 1646-1652

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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