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GeSbTe deposition for the PRAM application

Lee, J. / Choi, S. / Lee, C. / Kang, Y. / Kim, D.

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Titel:

GeSbTe deposition for the PRAM application

Beteiligte:

Lee, J. (Autor:in) / Choi, S. (Autor:in) / Lee, C. (Autor:in) / Kang, Y. (Autor:in) / Kim, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 3969-3976

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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