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    Titel:

    Diamond-like carbon films deposited by a hybrid ECRCVD system

    Beteiligte:

    Guo, C. T. (Autor:in) / Dittrich, K. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 4935-4941

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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