Fabrication of ordered Ta~2O~5 nanodots using an anodic aluminum oxide template on Si substrate: Fid-Bau Portal

Fabrication of ordered Ta~2O~5 nanodots using an anodic aluminum oxide template on Si substrate

Yang, C.-J. / Chen, C. / Wu, P.-W. / Shieh, J.-M. / Wang, S.-M. / Liang, S.-W.

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Titel:

Fabrication of ordered Ta~2O~5 nanodots using an anodic aluminum oxide template on Si substrate

Beteiligte:

Yang, C.-J. (Autor:in) / Chen, C. (Autor:in) / Wu, P.-W. (Autor:in) / Shieh, J.-M. (Autor:in) / Wang, S.-M. (Autor:in) / Liang, S.-W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 22 ; 1064-1071

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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