Influence of nitrogen content on the structural, electrical and mechanical properties of CrNx thin films: Fid-Bau Portal

Influence of nitrogen content on the structural, electrical and mechanical properties of CrNx thin films

Zhang, G. A. / Yan, P. X. / Wang, P. / Chen, Y. M. / Zhang, J. Y.

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Titel:

Influence of nitrogen content on the structural, electrical and mechanical properties of CrNx thin films

Beteiligte:

Zhang, G. A. (Autor:in) / Yan, P. X. (Autor:in) / Wang, P. (Autor:in) / Chen, Y. M. (Autor:in) / Zhang, J. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 460-461 ; 301-305

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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