A Stage Based on Voice Coil Motor with High Speed and Long Range for Laser Micro/Nano Fabrication: Fid-Bau Portal

A Stage Based on Voice Coil Motor with High Speed and Long Range for Laser Micro/Nano Fabrication

Kim, K. H. / Gweon, D. G. / Jung, H. S. / Lee, S. H. / Hong, M. S. / Lee, M. G.

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Titel:

A Stage Based on Voice Coil Motor with High Speed and Long Range for Laser Micro/Nano Fabrication

Beteiligte:

Kim, K. H. (Autor:in) / Gweon, D. G. (Autor:in) / Jung, H. S. (Autor:in) / Lee, S. H. (Autor:in) / Hong, M. S. (Autor:in) / Lee, M. G. (Autor:in) / Nam, S. W. / Chang, Y. W. / Lee, S. B. / Kim, N. J.

Erschienen in:

The Mechanical Behavior of Materials X ; 757-760

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 345/346

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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