Kinetic Study of SiO~2/S Coating Deposition by APCVD: Fid-Bau Portal

Kinetic Study of SiO~2/S Coating Deposition by APCVD

Zhou, J. / Xu, H. / Zhang, L. / Liu, J. / Qi, X. / Peng, B.

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Titel:

Kinetic Study of SiO~2/S Coating Deposition by APCVD

Beteiligte:

Zhou, J. (Autor:in) / Xu, H. (Autor:in) / Zhang, L. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Qi, X. (Autor:in) / Peng, B. (Autor:in)

Erschienen in:

Special Issue on Thin Solid Films and Coatings ; 535-540

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 23

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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