Short pulse laser microforming of thin metal sheets for MEMS manufacturing: Fid-Bau Portal

Short pulse laser microforming of thin metal sheets for MEMS manufacturing

Ocana, J. L. / Morales, M. / Molpeceres, C. / Garcia, O. / Porro, J. A. / Garcia-Ballesteros, J. J.

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Titel:

Short pulse laser microforming of thin metal sheets for MEMS manufacturing

Beteiligte:

Ocana, J. L. (Autor:in) / Morales, M. (Autor:in) / Molpeceres, C. (Autor:in) / Garcia, O. (Autor:in) / Porro, J. A. (Autor:in) / Garcia-Ballesteros, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 997-1001

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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