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Diffraction Effect in Proximity Printing of Circular Aperture Array

Tsai, J.C. / Hsieh, M.Y. / Yang, H.H.

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Titel:

Diffraction Effect in Proximity Printing of Circular Aperture Array

Beteiligte:

Tsai, J.C. (Autor:in) / Hsieh, M.Y. (Autor:in) / Yang, H.H. (Autor:in) / Jin, G.F. / Lee, W.B. / Cheung, C.F. / To, S.

Erschienen in:

Advances in Optics Design and Precision Manufacturing Technologies ; 955-960

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 364/366

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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