Carbon sputtering yield measurements at grazing incidence: Fid-Bau Portal

Carbon sputtering yield measurements at grazing incidence

Kolasinski, R. D. / Polk, J. E. / Goebel, D. / Johnson, L. K.

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Titel:

Carbon sputtering yield measurements at grazing incidence

Beteiligte:

Kolasinski, R. D. (Autor:in) / Polk, J. E. (Autor:in) / Goebel, D. (Autor:in) / Johnson, L. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 2506-2515

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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