Performance analysis of finger-shaped micro-electromechanical silicon accelerometer applied to vibration measurement: Fid-Bau Portal

Performance analysis of finger-shaped micro-electromechanical silicon accelerometer applied to vibration measurement

Du, M. / Lin, W. / Lu, P.

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Titel:

Performance analysis of finger-shaped micro-electromechanical silicon accelerometer applied to vibration measurement

Beteiligte:

Du, M. (Autor:in) / Lin, W. (Autor:in) / Lu, P. (Autor:in)

Erschienen in:

EARTHQUAKE ENGINEERING AND ENGINEERING VIBRATION -CHINESE EDITION- ; 27 ; 248-252

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1000-1301

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 624.1762

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