Layer Structure Growth of Orthorhombic Boron Nitride Thin Films by RF-PEPLD: Fid-Bau Portal

Layer Structure Growth of Orthorhombic Boron Nitride Thin Films by RF-PEPLD

Li, W.Q. / Zhou, L.J. / Zhao, Y.N.

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Titel:

Layer Structure Growth of Orthorhombic Boron Nitride Thin Films by RF-PEPLD

Beteiligte:

Li, W.Q. (Autor:in) / Zhou, L.J. (Autor:in) / Zhao, Y.N. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics V Part 1 ; 929-932

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 368-372

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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