Structuring of sputtered superelastic NiTi thin films by photolithography and etching: Fid-Bau Portal

Structuring of sputtered superelastic NiTi thin films by photolithography and etching

Zamponi, C. / Rumpf, H. / Schmutz, C. / Quandt, E.

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Titel:

Structuring of sputtered superelastic NiTi thin films by photolithography and etching

Beteiligte:

Zamponi, C. (Autor:in) / Rumpf, H. (Autor:in) / Schmutz, C. (Autor:in) / Quandt, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 481-482 ; 623-625

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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