Calix[4]resorcinarene Derivatives as High-Resolution Resist Materials for Supercritical CO2 Processing: Fid-Bau Portal

Calix[4]resorcinarene Derivatives as High-Resolution Resist Materials for Supercritical CO2 Processing

Felix, N. M. / De Silva, A. / Ober, C. K.

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Titel:

Calix[4]resorcinarene Derivatives as High-Resolution Resist Materials for Supercritical CO2 Processing

Beteiligte:

Felix, N. M. (Autor:in) / De Silva, A. (Autor:in) / Ober, C. K. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 20 ; 1303-1309

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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