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Deformation analysis of a film-overlapped micro-pump membrane structure

Lee, F.-S. / Wang, P.-W. / Chen, C.-H.

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Titel:

Deformation analysis of a film-overlapped micro-pump membrane structure

Beteiligte:

Lee, F.-S. (Autor:in) / Wang, P.-W. (Autor:in) / Chen, C.-H. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 17 ; 025022

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

25022 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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