Interferometric measurement using bimorph actuated staggered mirror (BASM) microsensor: Fid-Bau Portal

Interferometric measurement using bimorph actuated staggered mirror (BASM) microsensor

Lim, S. H. / Yim, H. J.

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Titel:

Interferometric measurement using bimorph actuated staggered mirror (BASM) microsensor

Beteiligte:

Lim, S. H. (Autor:in) / Yim, H. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 22 ; 740-745

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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