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    Titel:

    Dimensional Measurements for Micro- and Nanotechnology

    Beteiligte:

    Dai, G.L. (Autor:in) / Pohlenz, F. (Autor:in) / Danzebrink, H.U. (Autor:in) / Koenders, L. (Autor:in) / Gao, W. / Takaya, Y. / Gao, Y. / Krystek, M.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VIII ; 7-10

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 381/382

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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