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    Titel:

    Analyzing the Grating Profile Parameters Based on Scanning-Electron Microscope Images

    Beteiligte:

    Li, Y. (Autor:in) / Zeng, L.J. (Autor:in) / Gao, W. / Takaya, Y. / Gao, Y. / Krystek, M.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VIII ; 299-300

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 381/382

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    2 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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