Theory Study of Nanometer Metrological Grating Based Two Times Moire Fringe: Fid-Bau Portal

Theory Study of Nanometer Metrological Grating Based Two Times Moire Fringe

Ma, X.S. / Fei, Y.T. / Li, G.H. / Ying, Z.Y. / Li, S.Y.

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Titel:

Theory Study of Nanometer Metrological Grating Based Two Times Moire Fringe

Beteiligte:

Ma, X.S. (Autor:in) / Fei, Y.T. (Autor:in) / Li, G.H. (Autor:in) / Ying, Z.Y. (Autor:in) / Li, S.Y. (Autor:in) / Gao, W. / Takaya, Y. / Gao, Y. / Krystek, M.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VIII ; 501-504

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 381/382

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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