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    Titel:

    Indentation fracture of low-dielectric constant films: Part II. Indentation fracture mechanics model

    Beteiligte:

    Morris, D.J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 23 ; 2443

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    2443 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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