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Microstructure and Electrical Property of Sputtered Cr-Mo Thin Films

Murata, H. / Ohba, T.

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Titel:

Microstructure and Electrical Property of Sputtered Cr-Mo Thin Films

Beteiligte:

Murata, H. (Autor:in) / Ohba, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 49 ; 2907-2911

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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