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Raman Characteristics of Poly 3C-SiC Thin Films Deposited on AlN Buffer Layer

Chung, G.S. / Jeong, J.H.

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Titel:

Raman Characteristics of Poly 3C-SiC Thin Films Deposited on AlN Buffer Layer

Beteiligte:

Chung, G.S. (Autor:in) / Jeong, J.H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 600/603 ; 505-508

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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