Effects of annealing on the performance of 4H-SiC metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors: Fid-Bau Portal

Effects of annealing on the performance of 4H-SiC metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors

Yang, W. / Zhang, F. / Liu, Z. / Wu, Z.

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Titel:

Effects of annealing on the performance of 4H-SiC metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors

Beteiligte:

Yang, W. (Autor:in) / Zhang, F. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in) / Wu, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 11 ; 59-62

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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