In situ scanning electron microscopy indentation studies on multilayer nitride films: Methodology and deformation mechanisms: Fid-Bau Portal

In situ scanning electron microscopy indentation studies on multilayer nitride films: Methodology and deformation mechanisms

Rzepiejewska-Malyska, K.A. / Mook, W.M. / Parlinska-Wojtan, M. / Hejduk, J. / Michler, J.

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Titel:

In situ scanning electron microscopy indentation studies on multilayer nitride films: Methodology and deformation mechanisms

Beteiligte:

Rzepiejewska-Malyska, K.A. (Autor:in) / Mook, W.M. (Autor:in) / Parlinska-Wojtan, M. (Autor:in) / Hejduk, J. (Autor:in) / Michler, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 24 ; 1208-1221

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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