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Sputtering of silicon by a beamlet of electrosprayed nanodroplets

Gamero-Castano, M. / Mahadevan, M.

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Titel:

Sputtering of silicon by a beamlet of electrosprayed nanodroplets

Beteiligte:

Gamero-Castano, M. (Autor:in) / Mahadevan, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 8556-8561

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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