Intermixing of InAs/GaAs quantum dots by proton implantation and rapid thermal annealing: Fid-Bau Portal

Intermixing of InAs/GaAs quantum dots by proton implantation and rapid thermal annealing

Ilahi, B. / Zaaboub, Z. / Salem, B. / Morris, D. / Aimez, V. / Sfaxi, L. / Maaref, H.

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Titel:

Intermixing of InAs/GaAs quantum dots by proton implantation and rapid thermal annealing

Beteiligte:

Ilahi, B. (Autor:in) / Zaaboub, Z. (Autor:in) / Salem, B. (Autor:in) / Morris, D. (Autor:in) / Aimez, V. (Autor:in) / Sfaxi, L. (Autor:in) / Maaref, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 12 ; 71-74

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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