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Elastic properties in different nano-structured AlN films

Jiménez Riobóo, R. J. / Brien, V. / Pigeat, P.

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Titel:

Elastic properties in different nano-structured AlN films

Beteiligte:

Jiménez Riobóo, R. J. (Autor:in) / Brien, V. (Autor:in) / Pigeat, P. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 45 ; 363-368

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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