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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Using Thin Film Stress for Nanoscaled Sensors

    Beteiligte:

    Jebril, S. (Autor:in) / Mishra, Y.K. (Autor:in) / Elbahri, M. (Autor:in) / Kienle, L. (Autor:in) / Greve, H. (Autor:in) / Quandt, E. (Autor:in) / Adelung, R. (Autor:in) / Chandra, T. / Wanderka, N. / Reimers, W.

    Erschienen in:

    THERMEC 2009 Part 3 6th International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS, Berlin, Germany, August 25-29, 2009 ; 2028-2033

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 638/642

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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