Growth of Cubic AlN Films on Sapphire(0001) with Atomic Scale Surface Smoothness by Pulsed Laser Deposition: Fid-Bau Portal

Growth of Cubic AlN Films on Sapphire(0001) with Atomic Scale Surface Smoothness by Pulsed Laser Deposition

Yoshida, T. / Yoshitake, T. / Sumitani, K. / Ohtani, R. / Nakagawa, Y. / Mohri, S. / Nagayama, K.

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Titel:

Growth of Cubic AlN Films on Sapphire(0001) with Atomic Scale Surface Smoothness by Pulsed Laser Deposition

Beteiligte:

Yoshida, T. (Autor:in) / Yoshitake, T. (Autor:in) / Sumitani, K. (Autor:in) / Ohtani, R. (Autor:in) / Nakagawa, Y. (Autor:in) / Mohri, S. (Autor:in) / Nagayama, K. (Autor:in) / Chandra, T. / Wanderka, N. / Reimers, W.

Erschienen in:

THERMEC 2009 Part 3 6th International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS, Berlin, Germany, August 25-29, 2009 ; 2921-2926

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 638/642

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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