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    Titel:

    Conjugated Silicon-Based Polymer Resists for Nanotechnologies: EB and UV Meditated Degradation Processes in Polysilanes

    Beteiligte:

    Schauer, F. (Autor:in) / Schauer, P. (Autor:in) / Kuritka, I. (Autor:in) / Bao, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS TRANSACTIONS ; 51 ; 197-201

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1345-9678

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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