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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Advanced Lapping and Polishing Methods for Planarizing a Single-Crystal 4H-Sic Utilizing Fe Abrasive Particles

    Beteiligte:

    Kubota, A. (Autor:in) / Yoshimura, M. (Autor:in) / Watayo, T. (Autor:in) / Nakanishi, Y. (Autor:in) / Touge, M. (Autor:in) / Zhao, J. / Kunieda, M. / Yang, G. / Yuan, X.-M.

    Erschienen in:

    Advances in Precision Engineering ; 146-149

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 447/448

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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