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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Development of Piezo Driven Inchworm Micro X-Y Stage and Hemispherical Tilting Positioner with Microscope Head

    Beteiligte:

    Aoyama, H. (Autor:in) / Chiba, H. (Autor:in) / Takizawa, M. (Autor:in) / Itami, Y. (Autor:in) / Irie, Y. (Autor:in) / Hirata, S. (Autor:in) / Zhao, J. / Kunieda, M. / Yang, G. / Yuan, X.-M.

    Erschienen in:

    Advances in Precision Engineering ; 513-517

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 447/448

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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