Physical mechanism of silicon ablation with long nanosecond laser pulses at 1064nm through time-resolved observation: Fid-Bau Portal

Physical mechanism of silicon ablation with long nanosecond laser pulses at 1064nm through time-resolved observation

Zhou, Y. / Wu, B. / Tao, S. / Forsman, A. / Gao, Y.

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Titel:

Physical mechanism of silicon ablation with long nanosecond laser pulses at 1064nm through time-resolved observation

Beteiligte:

Zhou, Y. (Autor:in) / Wu, B. (Autor:in) / Tao, S. (Autor:in) / Forsman, A. (Autor:in) / Gao, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 2886-2890

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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