Atomic force microscopy-based repeated machining theory for nanochannels on silicon oxide surfaces: Fid-Bau Portal

Atomic force microscopy-based repeated machining theory for nanochannels on silicon oxide surfaces

Wang, Z. Q. / Jiao, N. D. / Tung, S. / Dong, Z. L.

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Titel:

Atomic force microscopy-based repeated machining theory for nanochannels on silicon oxide surfaces

Beteiligte:

Wang, Z. Q. (Autor:in) / Jiao, N. D. (Autor:in) / Tung, S. (Autor:in) / Dong, Z. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 3627-3631

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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